Criathragan Ròin-C Uachdar IGS Adhartach airson Siostaman Gas Leth-sheoltaiche Ultra-ghlan
Tuairisgeul
Tha criathragan uachdar HENGKO air an dealbhadh gus coinneachadh ri riatanasan dùbhlanach shiostaman gas amalaichte a thathas a’ cleachdadh ann an innealan OEM leth-chonnsachaidh. Le bhith a’ tabhann sìoladh aig ìre as àirde sa ghnìomhachas aig 0.003 µm, tha na criathragan seo a’ dèanamh cinnteach à coileanadh agus earbsachd air leth le èifeachdas eadar-ghabhail mìrean de ≥99.9999999% (9-LRV) aig 120 slpm.
Air an togail le pùdar stàilinn gun smal 316L làidir air a shintearachd airson eileamaid agus taigheadas an criathrag, tha na criathragan seo a’ gèilleadh ri sònrachaidhean SEMI F86-0304, anns a bheil co-phàirtean dà-phort a tha freagarrach airson siostaman cuairteachaidh gas 1.125” le rèiteachadh ròin-C. Bidh iad a’ toirt taic do chuideam in-ghabhail as àirde de 3.4 MPa aig 100°C agus eadar-dhealachadh cuideam obrachaidh as àirde de 0.69 MPa aig 100°C.
Bidh na criathragan sònraichte seo, a tha co-chòrdail ri sònrachaidhean ròin seòrsa C agus seòrsa W, a’ coileanadh glanadh sìos an abhainn le bhith a’ leigeil ma sgaoil mìrean de
Le crìochnachadh uachdar de Ra< 1.6 µm air an taobh a-muigh agus Ra< 0.13 µm air an taobh a-staigh, tha iad air an dealbhadh gus seasamh ri teòthachd àrd suas gu 460°C. Air an innleachadh airson amalachadh furasta agus ùrachadh dealbhaidh modúlach, tha na criathragan seo a’ sìmpleachadh stàladh agus cumail suas, a’ cuideachadh le bhith ag adhartachadh coileanadh an t-siostaim ann an tagraidhean lìbhrigidh is smachd gas leth-chonnsachaidh.
Feart Bathar
▶ Togail stàilinn gun smal 316L san fharsaingeachd
▶ Dealbhadh beag bìodach, structar teann, a’ sàbhaladh àite
▶ Feartan sàr-mhath airson gas a chur an àite agus a thoirt a-mach às a’ bhodhaig
▶ Teòthachd àrd, cuideam àrd, agus an aghaidh creimeadh
▶ Taigheadas stàilinn gun smal 316L air a snasadh le dealan
▶ Stàladh is cumail suas furasta is èifeachdach
▶ Ròn meacanaigeach, gun tàthadh structarail ris a’ mheadhan
Duilleag-dàta
| Paramadairean Teicnigeach | Luachan |
|---|---|
| Stuth Eileamaid Criathrag | Pùdar Sintered Stàilinn gun Mheirg 316L |
| Stuth Taigheadais | Stàilinn gun staoin 316L |
| Brùthadh In-ghabhail as àirde | 3.4 MPa aig 100°C |
| Eadar-dhealachadh Obrachaidh as Motha | 0.69 MPa aig 100°C |
| Ìre Aodion Dearbhaidh Helium | 1x10⁻¹¹ cc/mionaid |
| Ìre Aodion Deuchainn Helium | 1x10⁻⁹ cc/mionaid |
| Làimhseachadh Uachdar | Uachdar a-muigh Ra< 1.6 μm |
| Uachdar a-staigh Ra< 0.13 μm | |
| Teòthachd Obrachaidh as àirde | 460°C |
| Èifeachdas Eadar-ghabhail Mìrean | ≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (MPPS fiosrachaidh, a h-uile gràin) |
| Glanadh sìos an abhainn | Sgaoileadh Mìrean:< 0.03 mìrean/liotar (< 1 mìrean/ft³) |
| Luaineachd:< 10 ppb taiseachd | |
| Meud Eadar-ghabhail Mìrean | ≥0.003 μm |
| Raon Sruthaidh | 0 ~ 120 slpm |
Meud
Seo an àireamh pàirt as urrainn dhut òrdachadh agus mion-fhiosrachadh mun mheud:
| Modail Bathar | Ìre Sruthaidh | Àirde H (mm) | Mionaideachd sìolaidh | Ìre Glanaidh |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51.6 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82.9 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126.2 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167.9 | 0.003 μm | C |
Tagraidhean àbhaisteach
Airson a chleachdadh le ròn-W agus ròn-C, siostaman lìbhrigidh gas modúlach airson an cur suas air uachdar 1.125” agus 1.5”.
Cuir do theachdaireachd thugainn:
